ピラニゲージ
GP-1
真空計
センサユニットGP-1は、3,000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。
この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、｢コストの低減｣や｢省スペース化｣を可能としました。
GP-1の特長
- トランデューサ仕様：圧力表示器が不要な場合
・真空計にかかるコストの低減化
・制御盤まわりの省スペース化
・省配線化
などを実現 - メンテナンス性：測定子の交換が容易
- フィラメント材料：白金（Pt）の採用
フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用 - 測定子WPシリーズ使用可能：今までお使いいただいている測定子がそのまま使用可能
- 制御出力信号：セットポイント２点の出力が可能
- 測定値出力信号：圧力は0～5V出力（非線形出力）
- 電源電圧：DC24V入力で作動可能
用途
- 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
- 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用
- インライン式・枚様式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
仕様
| タイプ | センサユニット | |
|---|---|---|
| 型式 | GP-1 | |
| 適応測定子 | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 | |
| 測定圧力範囲 | 4.0 × 10-1 ～ 3.0 × 103Pa | |
| 測定精度 | ± 15 %（51 Pa ～ 760 Pa） ± 30 %（10 Pa ～ 1,000 Pa） ± 50 %（ 0.4 Pa ～ 3,000 Pa） |
|
| 使用温度範囲 | 10 ～ 40 ℃ | |
| サンプリング時間 | 50 ms 5回の移動平均処理 | |
| 測定値出力 | 非線形出力：DC 0 ～ 5 V（Max. 10 V） | |
| 更新時間 | 50 ms | |
| 分解能 | 10 mV | |
| セットポイント 1/2 調整用出力 | 非線形出力：DC 0 ～ 5 V（Max. 10 V） | |
| 制御出力信号 | オープンコレクタ、負論理 Error 信号 セットポイント 1/2 |
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| LED表示 | パワー、エラー、セットポイント 1/2 | |
| 電源電圧 | DC 24 V ± 2 V, 90 mA | |
| 入出力コネクタ | D-sub-15P（M2.6 screw） | |
| 本体質量 | 190 g（測定子含まず） | |
| 付属品 | 入出力コネクタ 1式 取扱説明書 1部 |
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IOとアナログGND、電源GNDはアイソレートされておりません。
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