油拡散真空ポンプ

油拡散真空ポンプ
ESV Series

油拡散真空ポンプESV Series (small model)

旧:TOKUDA

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ESVシリーズの特長

本シリーズは、超高真空領域から高・中・真空領域まで安定した圧力を得るために内熱式シーズヒータを採用し超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。
ESVシリーズは油を加熱するための熱効率を良くしてあるため(当社比)作動時間が速く、排気量が大きく臨界背圧が高いのが特長です。また、作動油量も少なく済みます。

使用例

  • 各種真空炉
  • 各種実験用排気セット
  • 各種成膜装置
  • 電子ビーム溶接

ESVシリーズ ラインアップ

型式 unit ESV-161 ESV-221S ESV-241
最大排気速度 L/s 7,500 13,500 20,000
到達圧力 Pa 10-5 10-5 10-5
作動圧力範囲 Pa 10-5 ~ 0.4 10-5 ~ 0.4 10-5 ~ 0.4
臨界背圧 Pa 33 35 33
最大排気量 Pa L/s 1,130 1,680 1,460
使用油   ライオンA ライオンA ライオンA
油量 L 2 3 5
ガスケット  

ネオプレン

ネオプレン

ネオプレン

ヒーター 形式  

シーズ

シーズ

シーズ

電圧、相 ACV, 相

200 , 3

200 , 3

200 , 3

形式 kW

5.5

7.5

9.0

吸気口  

VG400

VG550

VG600

補助口  

VG100

VG150

VG150

冷却方式  

水冷(water cooling)

水冷(water cooling)

水冷(water cooling)

冷却水量 L/min, at. 25 ℃

11

15

15

補助ポンプ  

KP-4500BG

KP-7500BG

KP-7500BG

バッフル形式  

16C(シェブロン)

22L(ルーバー)

24L(ルーバー)

バッフル付排気速度 L/s

3,000

6,500

8,000

バッフル冷却水量 L/min, at. 25 ℃

11

3

3

油逆流量 cm3/cm2 min

10-7

10-7

10-7

材質 シリンダー

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

ジェット

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

質量 kg

160

250

350

         
型式 unit ESV-24S ESV-281S ESV-361S
最大排気速度 L/s 19,000 23,000 39,000
到達圧力 Pa 10-5 10-5 10-5
作動圧力範囲 Pa 10-5 ~ 0.4 10-5 ~ 0.4 10-5 ~ 0.4
臨界背圧 Pa 30 30 40
最大排気量 Pa L/s 1,300 2,500 2,800
使用油   ライオンA ライオンA ライオンA
油量 L 5 5 9
ガスケット  

ネオプレン

ネオプレン

ネオプレン

ヒーター 形式  

シーズ

シーズ

シーズ

電圧、相 ACV, 相

200 , 3

200 , 3

200 , 3

形式 kW

9.0

12

15.6

吸気口  

VG600

VG700

VG900

補助口  

VG150

VG200

VG200

冷却方式  

水冷(water cooling)

水冷(water cooling)

水冷(water cooling)

冷却水量 L/min, at. 25 ℃

15

15

15

補助ポンプ  

KP-7500BG

TMB-1500 + KP-4500BG

TMB-2500 + KP-7500BG

バッフル形式  

24L(ルーバー)

28L(ルーバー)

28L(ルーバー)

バッフル付排気速度 L/s

10,500

120,000

22,000

バッフル冷却水量 L/min, at. 25 ℃

3

3

3

油逆流量 cm3/cm2 min

10-8

10-7

10-7

材質 シリンダー

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

ジェット

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

鉄(Niメッキ)

質量 kg

200

400

830

※予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

注意事項

  • 当社の油回転真空ポンプは、下記の使用に基づき設計・製作しております。
    (1)吸入ガスの種類 空気および不活性ガス(N2, CO2, He, Ne, Ar, Xe, Rn ・・・)
    (2)吸入ガスの温度 5~40℃
    (3)環境温度 5~40℃
    (4)常用圧力 10-6~0.4Pa
      ※上記使用条件と異なる場合は、ご相談ください。
  • 腐食性ガス(Cl2,CCl4, CF4, BBr4, HBr, ・・・) の排気を行う場合、油の劣化や到達圧力の未達部品の腐食が起こる場合があり、ポンプ本体の寿命を縮めますのでご注意ください。

  • 24 インチ以上の大型拡散真空ポンプにつきましては、外国為替および外国貿易法に定める物質(又は役務)に該当するため、同法に基づく輸出許可が必要です。輸出の際はご照会ください。

  • 本カタログの性能表は、当社試験規格に基づき測定試験・検査を行っております。
    従って、装置などに組込まれた場合の性能値とは異なります。

  • 油拡散真空ポンプの塗装は耐熱銀粉塗装となっております。

  • 拡散油について Diffusion oil
    標準拡散油以外の拡散油を使用する場合
    拡散油の比熱が違うことがあるため油拡散真空ポンプ本来の性能を発揮しないことがあります。

  • ポンプ冷却について
    油拡散真空ポンプに使用する冷却水温は5~25℃の範囲を目安にしてください。
    冷却水温が高すぎますとポンプ内壁に蒸気噴流となって飛んでくる油を効率よく冷却できないため油逆流量の増大などポンプの性能に影響します。
    また、冷却水質は、なるべく水質の良い水をご使用ください。
    水質の悪い水を使用しますとポンプ冷却導管内が詰まり、異常高温によりポンプ性能の低下、冷却導管部はんだ付けの解け落ちなどのトラブルが発生します。
    尚、冷却導管内が詰まり規定の冷却水量が流れなくなった場合の処置として、市販のパイプ洗浄剤などをご使用の上、内部の詰まりを取り除いてください。
    以上の処置を行っても取り除けない場合は、冷却導管の交換が必要となりますので当社にご連絡ください。
    ※寒冷地では使用後、冷却水を取り除いてください。凍結し破損する恐れがあります。
    ※その他ご不明な点がございましたら当社へご連絡ください。

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