当社グループは製品系の取り組みとして、環境調和型製品（Environmentally Conscious Products＝ECP）を世に送り出すことで地球環境の負荷低減に努めています。ECPの創出においては、製品のライフサイクル（製品の材料調達、製造、輸送、使用、廃棄にいたる一連の工程）全体から環境負荷をとらえています。ライフサイクルで発生する環境負荷は、その企画・設計段階での取り組みが大きく影響します。当社では2005年度より製品価値と環境への影響を総合的に評価する指標として「ファクター」という考え方を取り入れ、製品ごとにこれを数値化した「ファクター値」をもって、製品の環境適合度・改善度を評価しています。

ファクター値は、評価製品の環境効率を基準製品の環境効率で割ったものです。環境効率とは、製品の価値を製品の環境影響で割ったもので、ファクター値の数値が大きいほど評価製品の環境効率が優れています。このファクター値が1.5以上の製品をECPと認定し、この値が2.0以上に評価された製品を特にEx-ECP^＊（Excellent ECP）と認定しています。
当社グループは今後も環境調和型製品の開発を推進し、さらに多くを市場に提案していきます。

*Ex-ECP（Excellent Environmentally Conscious Products）… 優秀環境調和型製品

半導体フォトマスク専用のドライエッチング装置

■【環境の改善】 省資源・省エネルギー
　機能あたりの削減率
　　(1)プロセス材料（ガス）72％削減
　　(2)電力消費量54％削減

■【価値の改善】 生産性向上
　　(1)時間当たりの処理能力3.24倍

(1)装置概要
本装置はフォトマスク^*上の金属薄膜を設計どおりのパターンに加工する半導体フォトマスク専用のドライエッチング装置です。2009年より開発を始め、フォトマスクの国際学会での発表でも高い評価を得ています。

(2)省資源、省エネルギ−
本装置では、パターンを加工するためにガスを真空容器に流し、高周波電力を投入してプラズマ放電させ、活性化したガス分子を作ります。装置開発にあたり、環境に配慮し、効率的にガスを使用する工夫により、ガス使用量を低減して省資源化を図りました。
また、チャンバーや配管等などにおいては、効率よいヒーテｨングを行なうことで消費電力を削減し、省エネルギー、CO2低減に寄与しています。

*フォトマスク… パターンをウエハに転写するための石英製の原版